ZMI-2002 ZYGO
ZMI-2002是由ZYGO Corporation生产的一款双轴测量板,专为高精度测量设计。它采用先进的干涉测量技术,能够提供高分辨率和低噪声的测量结果。
产品参数
型号:ZMI-2002 8020-0211-1-J
品牌:ZYGO
测量轴数:2
分辨率:<1 nm
精度:±0.1µm
工作温度:0°C至+40°C
保护等级:IP54
尺寸:229 x 114 x 29 mm
重量:1.2 kg
产品规格
ZMI-2002测量板具有以下特点:
高精度测量能力,能够实现微米甚至纳米级别的测量精度。
具有简化的P2接口,可以很容易地总线到单个伺服卡或电机控制器。
支持多种通信接口,包括RS232、RS485和CAN总线功能。
系列
ZMI-2002属于ZMI-2000系列,该系列还包括其他型号如ZMI-4104双轴测量板。
特征
ZMI-2002测量板的主要特征包括:
双轴设计,适用于同时处理和监控两个物理量(如位置、速度、力等)。
高采样率和宽输入范围,使其能够处理各种模拟和数字信号。
高稳定性和低噪声性能,确保测量结果的准确性。
作用与用途
ZMI-2002测量板主要用于以下领域:
工业自动化:用于高精度的位置和位移测量。
精密机械部件制造:适用于光学组件、半导体加工等领域。
科学研究和质量控制:用于科学研究中的精密测量和质量控制。
应用领域
ZMI-2002测量板的应用领域非常广泛,包括但不限于:
光学组件制造
精密机械部件制造
半导体加工
科学研究
质量控制
建筑测量
地形测绘
工业自动化
机器人导航
无人驾驶