LAM 810-068158-015
LAM 810-068158-015是一款高性能通信模块，设计用于多种应用场合。
它是蚀刻机器人接口板，用于连接蚀刻机器人和控制系统。
产品参数：
电源电压：3.3V。
工作温度范围：-40°C至+85°C。
尺寸：500mm x 300mm x 200mm。
重量：10kg。
产品规格：
测量范围：0~100%。
测量精度：0.1%。
测量时间：2~5秒。
工作湿度：0~95%。
系列：
属于LAM Research半导体设备系列。
特征：
高可靠性：采用高性能的电路设计和材料选择，具有高可靠性和稳定性，能够保证工业过程的连续运行。
易于安装：便于用户快速部署和使用。
可扩展性：支持多种扩展功能，适应不同应用场景。
作用：
连接蚀刻机器人和控制系统，实现对蚀刻机器人的控制和监测。
提供高效、稳定的电源输出。
用途：
半导体制造。
光伏制造。
其他需要蚀刻工艺的行业。
应用领域：
半导体制造设备。
蚀刻设备、薄膜沉积设备、清洗设备、检测设备等
LAM 810-068158-015
