MKS 220DD-00100A2B
MKS 220DD-00100A2B是一款由MKS Instruments公司生产的差分电容压力计,属于Baratron®系列。该产品采用差分电容测量原理,专门用于测量低压范围内的压力,具有响应速度快、精度高、稳定性好等特点。
产品规格
尺寸:根据具体型号而定。
安装方式:面板安装或机柜安装。
电源电压:24VDC。
工作温度:0℃~50℃。
测试压力范围:0-100 Torr。
接口:1/2″OD(12.7mm)管道直径。
输入电压:115/230vAC。
输入信号:0-10VDC和4-20mA。
系列
该产品属于MKS Baratron®系列。
特征
高精度:提供高精度的压力测量,精度可达±0.25%FS。
快速响应:响应时间为<10 ms。
宽量程:可测量0至25 bar的压力范围。
耐腐蚀:可承受各种腐蚀性气体的侵蚀。
可靠性:采用优质材料和先进的制造工艺,确保传感器运行可靠稳定。
作用与用途
MKS 220DD-00100A2B主要用于控制和测量气体的压力,其具体功能和用途取决于其所在的系统以及连接的设备。常见应用包括:
半导体制造:薄膜沉积、等离子刻蚀等工艺中的压力控制。
分析仪器:气相色谱、质谱等仪器的压力控制。
真空系统:真空泵的压力控制。
应用领域
该产品可应用于各种高精度要求的领域,包括:
半导体制造:芯片制造、封装等。
光伏产业:太阳能电池制造。
科研院所:物理、化学实验