CESAR1320 Advanced Energy
是一款射频（RF）电源供应设备，属于CESAR®射频发生器平台的一部分。该系列产品以其坚固且多功能的特性著称，提供卓越且一致的射频功率输送性能，并适用于多种等离子体应用。
产品说明与参数：
频率范围：支持2、4、13.56、27.12和40.68 MHz的频率。
功率范围：从0.3至5 kW
输入电压：支持200和400 VAC
接口类型：提供RS-232、以太网或Profibus等串行I/O接口
冷却方式：通常采用强制风冷或水冷。
系列与特征：
CESAR1320属于CESAR®射频发生器平台，该平台具有多种型号，每款型号都有独特的特性和能力。这些设备设计紧凑，易于安装在机架中，并且具备多种保护功能和高级操作菜单。此外，CESAR1320具备多种用户界面和输入选择，允许用户根据应用需求选择合适的组件。
作用与用途：
CESAR1320主要用于需要高精度射频功率输送的工业应用，特别是在半导体制造和等离子体处理过程中。它能够提供稳定的射频功率，以支持复杂的工艺流程
应用领域：
CESAR1320广泛应用于各种等离子体基应用，包括：
HDP-CVD（高密度等离子体化学气相沉积）
PECVD（等离子增强化学气相沉积）
蚀刻—ICP/RIE
PVD（物理气相沉积）
等离子体清洁
CESAR1320 Advanced Energy
