Brooks Automation 001-4130-03

Brooks Automation 001-4130-03

Brooks Automation 001-4130-03是一款真空晶圆对准控制器，主要用于半导体制造过程中，确保晶圆在加工过程中的精确对准。它属于Brooks Automation VCE系列的晶圆对准控制器产品线，提供高精度、高可靠性和易用性的晶圆对准解决方案。

产品参数与规格

精度：高精度定位，采用先进的定位算法和伺服驱动器，实现亚微米级别的对准精度。

控制速度：在X/Y方向为100mm/s，在θ方向为10°/s。

重复性：在X/Y方向为0.5μm，在θ方向为0.05mrad。

扫描范围：在X/Y方向为±20mm，在θ方向为±5°。

接口兼容性：支持多种通信接口，如以太网、RS-232或USB，便于与其他系统集成。

系列与特征

Brooks Automation 001-4130-03属于Brooks Automation VCE系列，该系列控制器模块具有高集成度设计，支持多种输入/输出接口，并具备用户友好的界面。其主要特征包括：

高精度定位：采用先进的定位算法和伺服驱动器，实现高精度晶圆对准。

高可靠性：采用冗余设计和故障自诊断功能，确保即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作。

安全性：设计有安全机制，防止意外移动或操作错误导致的设备损坏。

模块化设计：便于安装、维护和升级。

作用与用途

Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造的各个环节，包括晶圆清洗、光刻、刻蚀、沉积、CMP（化学机械抛光）、测试和封装等。它在光刻过程中发挥关键作用，通过精确对准晶圆和光掩模，提高叠层精度、减少叠层误差，从而提高产量、优化生产效率并节省成本。

应用领域

该产品广泛应用于半导体制造行业，特别是在需要高精度和高可靠性的晶圆对准操作中。此外，它也适用于生命科学和其他高科技行业