Description
AE APEX3013
AE APEX3013是一款高性能的射频电源，主要用于产生固定频率的正弦波电压，频率范围在射频范围内（约3KHz~300GHz）。它具有高功率密度和一致性电力输送的特点，能够在较小的体积内提供高功率输出。
产品参数
频率：13.56 MHz
功率：3 kW
尺寸：15mm x 10mm x 1.3mm
工作电压：1.9V-3.6V
工作温度：-40°C至+85°C
产品规格
通信接口：支持RS-232、Profibus和DeviceNet®等协议
安装方式：包括真空室安装、工具框架安装及机架安装等
系列
AE APEX3013属于Apex®系列射频电源，该系列包括多种型号，功率范围从1.5KW到5.5KW不等
特征
高精度与稳定性：提供非常稳定和精确的射频功率输出，对于半导体制造过程中等离子体反应的可控性和一致性至关重要。
可编程性与灵活性：具备可编程功能，允许用户根据特定工艺需求进行调整。
高可靠性：利用创新的射频转换技术，具有高功率密度和一致性电力输送
作用与用途
AE APEX3013射频电源广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏产业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等领域。
应用领域
半导体制造：用于溅射、反应性离子蚀刻等工艺
光伏产业：用于太阳能电池板的生产
医疗美容：用于皮肤治疗等应用
科学实验：用于等离子体发生和其他科学实验
APEX3013
