Description
BROOKS 001-4130-03
BROOKS 001-4130-03属于BROOKS Automation VCE系列的晶圆对准控制器产品线，提供高精度、高可靠性和易用性的晶圆对准解决方案。
产品参数：
高精度：采用高精度伺服电机和编码器，误差范围可达微米级。
可靠性：采用冗余设计，包括双重电源和双重通信链路，确保即使在单个组件故障的情况下也能正常运行。
产品规格：
控制器具有高达400mm的X-Y行程范围，集成图像旋转和缩放功能，以确保高精度对准。
属于BROOKS Automation VCE系列。
特征：
高精度定位：采用先进的定位算法和高精度传感器。
高可靠性：采用优质材料和先进的制造工艺，确保长期稳定运行。
易于使用：操作简便，适合集成至各类半导体设备中使用。
主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作，确保晶圆的位置及方向准确，为后续工艺提供基础。
广泛应用于半导体制造过程的各个阶段，包括晶圆加工、传输、检测等。
应用领域：
主要应用于半导体制造行业，特别是在晶圆对准和校准方面
BROOKS 001-4130-03
