Description
Brooks Automation 001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是一款真空晶圆对准控制器，广泛应用于半导体生产线，特别是在光刻、蚀刻等需要高精度对准的工艺中。它作为晶圆对准系统的核心组件，负责控制晶圆的移动、对准和夹持等操作，以确保晶圆在加工过程中能够被准确地定位。
Brooks Automation 001-4130-03
产品参数
型号：001-4130-03
系列：VCE系列
控制精度：纳米级别，误差范围可达±0.1μm
X-Y行程范围：高达400mm
搬运速度：最高可达1 m/s
负载能力：5 kg
工作温度：0°C至+50°C
防护等级：IP65
通信接口：RS-232、RS-485、Ethernet
产品规格
Brooks Automation 001-4130-03具有多种功能，包括实时监控和诊断、数据记录和分析等。它还支持多种对准模式，如接触式、非接触式和基于标记的对准，以满足不同的工艺要求。此外，该控制器具备高精度定位、动态响应、反馈控制、稳定性、接口兼容性和用户友好的界面。
特征
Brooks Automation 001-4130-03的主要特征包括：
高精度：采用先进的定位算法和伺服电机，确保极高的对准精度。
高可靠性：采用冗余设计，包括双重电源和双重通信链路，确保设备在单个组件故障的情况下仍能正常运行。
易用性：配备直观的用户界面和友好的操作软件，便于设置、监控和维护。
可扩展性：随着半导体制造技术的发展，该控制器具备一定的可扩展性，以适应新的技术要求和工艺变化。
作用与用途
Brooks Automation 001-4130-03在半导体制造过程中起到关键作用，通过精确控制晶圆的位置，提高半导体制造的精度和效率。它主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作，确保晶圆在光刻、蚀刻等工艺中的精确位置。
应用领域
Brooks Automation 001-4130-03广泛应用于半导体生产线，特别是在光刻、蚀刻等需要高精度对准的工艺中。此外，它还可用于其他微电子器件制造，如LED、MEMS和太阳能电池等
Brooks Automation 001-4130-03
